半導体製造の検査から学術的研究まで！X線分析計測装置で「見えない世界」を技術解明する リガク【知られざるガリバー】

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今回のガリバーは、目に見えない原子・分子レベルの構造を解明する「X線分析計測装置」を手掛けるメーカー「リガク」。

医療用途にとどまらず、産業における製造現場でも幅広く活用されているX線。
物質へX線を照射した際に返ってくる微弱な信号を検出・解読することで、不可視の内部構造を詳細に分析します。
データを記録する半導体分野では、わずか100分の1ミリという厚みの中に300層もの金属が形成されています。設計通りの金属量で正確に製造されているかを検証するため、X線を用いたウエハー分析が行われています。
X線を物質に照射すると、「透過」、「散乱」および「新たなX線の発生(蛍光X線)」という3つの現象が同時に生じます。
散乱X線の解析によって原子配列や構造の違いを特定でき、発生したX線の解析によって構成元素が判明します。
こうした分子・原子レベルの微細領域を計測する装置において、構成部品のわずかな誤差を出すことなく、1,000分の1ミリ単位の加工精度を追求。部品の切削や角度調整など、熟練技術者の手作業による厳密な微調整を重ねることで、目に見えないミクロの世界を正確に捉える精度を実現しているのです。

1951年の設立以来、日本の高度経済成長を技術面から支え続けてきたリガク。現在はノーベル化学賞を受賞した北川進特別教授の研究をはじめ、最先端の科学技術分野においても不可欠な役割を果たしています。

日本の産業と先端科学の発展に貢献するリガクの技術力と、その真摯なモノづくりに迫ります。

ナレーター　渡辺 真理
リポーター　加納 美月

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