台積電攜ASML把光罩尺寸一口氣翻倍 載具.清洗.檢測同步升級 家登:可望帶動明年營收獲利｜非凡財經新聞｜20260917
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AI晶片一路拚高算力，先進製程持續微縮，現在連曝光用的光罩，也朝更大尺寸升級。主要是台積電與ASML推進12吋High NA EUV光罩，帶動台灣光罩供應鏈同步升級，從光罩製造、晶圓載具、清洗自動化，到AOI檢測，都迎來新一波商機，其中晶圓載具龍頭廠家登，則是十分積極佈局光罩產業升級戰，可望帶動明年營收獲利動能。
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