테라팹, 기존 EUV 안쓰는 미친 구상 | 입자가속기 도입이 현실이 되는 이유 | FEL-EUV의 가능성

일론 머스크가 추진하는 초대형 반도체 공장 테라팹에서 ‘New Physics’라는 표현이 등장했습니다.
그 후보 중 하나로 거론되는 기술이 자유전자레이저, FEL입니다.
현재 EUV는 주석 방울에 강력한 레이저를 쏴 플라즈마를 만들고 여기서 필요한 빛을 얻습니다.
FEL은 주석 대신 가속된 전자빔에서 직접 강한 빛을 만들어내는 전혀 다른 접근입니다.
문제는 FEL이 작은 광원이 아니라 대형 가속기 시설에 가깝다는 점입니다.
그래서 하나의 중앙 FEL에서 여러 노광장비로 빛을 공급하는 구조가 연구되고 있습니다.
테라팹처럼 공장의 규모가 커질수록 이런 중앙 광원의 경제성도 달라질 수 있습니다.
전력 부담을 줄이기 위한 ERL 에너지 회수 기술과 24시간 안정적으로 빛을 공급해야 하는 현실적인 과제도 함께 살펴봤습니다.
FEL이 실제로 테라팹에 들어간다는 것은 아직 확인된 사실이 아니지만, 미국에서는 반도체용 프로토타입까지 실제로 만들어지고 있습니다.
연구시설에 있던 입자가속기가 미래 반도체 공장의 광원이 될 수 있을지 정리했습니다.
#일론머스크 #테라팹 #반도체

Written by 패치
Edited by 이진이

[email protected]